[我國集成電路設備國產化獲重大進展]:我國集成電路核心裝備國產化在京獲重大進展。記者日前從北京經濟技術開發區獲悉，中芯國際北京廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工突破一千萬片次，標志著集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證，國...

　　我國集成電路核心裝備國產化在京獲重大進展。記者日前從北京經濟技術開發區獲悉，中芯國際北京廠使用國產設備加工的12寸正式產品晶圓加工突破一千萬片次，標志著集成電路國產設備在市場化大生產中得到充分驗證，國產設備技術和市場競爭力邁上了一個新臺階。

　　穿上淡粉色防塵衣帽，戴上口罩手套，雙腳套上鞋套，再進入風淋室經過2分鐘的清潔空氣吹淋后，記者進入了中芯國際二期生產線的潔凈室。

　　“這臺分片機，需要機械手臂精準、平穩地將晶片進行分發，并且不能有任何刮傷和微塵污染。”“這臺中速離子植入機，是硅變成電晶體的一道重要工藝。”“這臺介質蝕刻機，負責根據設計‘吃掉’硅片上不需要的部分”……在潔凈室技術人員的講解下，一臺臺國產裝備進入了記者視線。

　　經過多年的研發以及反復驗證、調試，它們如今與代表集成電路最先進制造水平的國外“同行”們站立在一起，擔負起芯片制造的一項項關鍵工序。

　　在中芯國際工作多年的老人兒都清晰記得，十多年前中芯國際在京投產時，大到生產線設備，小到螺母、螺絲釘，都是進口的。

　　國產設備進芯片生產線，為何這么難？“好比要在晶片上蓋四十多層高樓，不同的是每一層樓都需要以頭發絲千分之一的精確度描繪出來。”中芯北方副總經理張昕說。一顆只有幾毫米寬的芯片上，肉眼看不到的是其背后極大的精確度和復雜度——每個芯片上有很多層，而每一層上面的晶體管和電路如果排成一根直線，有數百米長。在這里，一張張硅片經過光刻、掩膜、光照、離子注入、熱處理等數百道工序后，才能變成芯片。而任何一道工序中但凡出現一點差錯，就會失之毫厘，謬以千里。

　　正是由于工藝制造的高精度和復雜度，芯片生產需要機械、電子、軟件、控制、材料等多個學科的配合。集成電路生產線上刻蝕機、氧化機、薄膜、光刻、離子注入等設備，一直都由歐美日少數公司掌握。而如今，從2008年至今短短幾年時間，一些國產材料和大型裝備正在逐漸進入這條全國最先進的集成電路生產線。

　　“一個城市的普通家庭有約100顆芯片。”北京經濟技術開發區管委會主任、國家科技重大專項02專項實施管理辦公室主任梁勝多年前就曾用這樣一個比喻來形容集成電路在人們生活中無處不在的重要性。而今，100顆這個數字有增無減。智能手機、空氣凈化器、移動WiFi、高清電視、智能攝像頭、聲控燈……沒有了芯片，所有這些讓你生活便利的智能設備全都不可能實現。

　　小到人們的智能生活，大到國家信息安全能力，都與芯片以及制造芯片的核心裝備們息息相關。“國外一家大型裝備廠商一個季度的產值，就比中芯國際一年產值還要高得多。”張昕也用一個數字來解釋裝備制造在整個集成電路產業鏈中的重要地位。